Vakumlu magnetron püskürtme tekniği, hedef yüzey elektrik alanını manyetik alana dik olarak ayarlayarak, katod yüzey sürüklenmesinde elektronun manyetik alanı ile dişi, bipolar elektrot yüzeyinin kullanılmasıdır, elektron darbeyi artırır, iyonlaşma oranını artırır yüksek enerjili parçacıklar çarpışmadan sonra gazlaşır ve enerji kaybeder ve böylece alt tabaka sıcaklığı düşerken, sıcaklığa dayanıklı olmayan bir malzeme üzerinde tam kaplama.