Sıralı Püskürtme Sistemi
-
Hat içi Magnetron Püskürtme sistemi
Inline Magnetron Püskürtme sistemi, farklı amaçlar için çalışan bir tür vakumlu ince film biriktirme ekipmanıdır.Püskürtme hattımızın en yaygın uygulamaları:
Alüminyum ayna imalatı
- İTO cam kaplama
- Anti Yansıtıcı cam
- Paslanmaz çelik ve cam için dekoratif kaplamalar
Bu kaplama sistemi, yüksek sınıf vakumlu kaplama uygulamaları için uygundur.Vakum kaplama filmlerinin kalitesini artırmak için istikrarlı çalışma performansı üretir.
-
ITO Cam Magnetron Püskürtme Kaplama Hattı
ITO Cam Magnetron Püskürtme Kaplama Hattı, yüksek kaliteli flot camı SO2/ITO katmanıyla kaplamak için vakumlu magnetron püskürtme teknolojisi ve dengesiz magnetron püskürtme teknolojisini benimser.Uluslararası gelişmiş kontrol sistemine dayalıdır.Tüm üretim süreci otomatik ve sürekli olarak çalışır.
-
Alüminyum Ayna Sıralı Magnetron Püskürtme Hattı
Alüminyum Ayna Sıralı Magnetron Püskürtme Hattı, cam ayna imalat amacının yüksek çıktısı için tasarlanmıştır.Daha büyük camları kaplamak ve özellikle büyük boyutlu levhalar için kırılgan cam panele dikkat etmek için genellikle yatay tipte püskürtme hattı yaparız.Ön ve arka kaba pompalama odası ve geçiş odasından sonra, ince pompalama odasından önce ve sonra, bir tampon odası, renk kaplama odası ile sürekli bir magnetron kaplama hattıdır.
Hedef tasarım: silindirik magnetron püskürtme katotları veya/veya düzlemsel katotlar.
Güç kaynağı: yüksek güçlü DC veya MF magnetron püskürtmeli güç kaynağı
Tahrik sistemi: makaralı tahrik, frekans ayarlı, indüksiyon tipi oda kapısı açma sistemi.
Vakum sistemi: difüzyon pompası (veya turbo moleküler pompa) + kök pompası + mekanik pompa
